Przemysł półprzewodników wymaga komponentów zdolnych do precyzyjnej, czystej i długotrwałej pracy w coraz bardziej wymagających warunkach. Pierścień ślizgowy z pustym wałem JINPAT LPT został opracowany specjalnie z myślą o tych wyzwaniach, oferując niezawodną transmisję obrotową w środowiskach wysokotemperaturowych i wysokiej próżni, powszechnie spotykanych w zaawansowanych urządzeniach do przetwarzania półprzewodników. Dzięki konstrukcji, która priorytetowo traktuje trwałość, kontrolę zanieczyszczeń i wydajność elektryczną, seria LPT wspiera globalnych producentów półprzewodników w utrzymaniu stałej jakości produkcji.
Obudowa pierścienia ślizgowego ze stali nierdzewnej, wykonana ze stali SUS304, zapewnia dużą odporność na naprężenia termiczne i deformacje mechaniczne. Wewnątrz urządzenia pierścienie przewodzące ze stopów wysokotemperaturowych i styki z kompozytów metali szlachetnych zapewniają stabilną transmisję sygnału i zasilania, nawet podczas długotrwałej pracy w temperaturze powyżej 200°C. Konstrukcja wewnętrzna została zaprojektowana z myślą o efektywnym zarządzaniu termicznym, minimalizując rozszerzalność i utrzymując niski poziom szumów elektrycznych w całym cyklu produkcyjnym.
Kompatybilność z próżnią to kolejna cecha definiująca serię LPT. Procesy półprzewodnikowe opierają się na ściśle kontrolowanych środowiskach próżniowych, w których zanieczyszczenia muszą być zredukowane do prawie zera. Aby spełnić te standardy, pierścień ślizgowy wykorzystuje suchą konstrukcję bez smarowania, eliminując możliwość uwalniania oparów oleju. Wielostopniowy system uszczelnień i materiały o niskiej emisji gazów zapewniają doskonałą szczelność. Dodatkowo, konstrukcja bez jonów miedzi zapobiega zanieczyszczeniom metalami — kluczowa zaleta w produkcji płytek i innych wrażliwych procesach.
Pierścień ślizgowy z pustym wałem LPT jest już z powodzeniem stosowany w szerokiej gamie urządzeń do produkcji półprzewodników. Połączenie wytrzymałości termicznej, stabilności mechanicznej i czystości w próżni zapewniło mu silne uznanie wśród producentów sprzętu poszukujących niezawodnych rozwiązań transmisyjnych o długiej żywotności. Niezależnie od tego, czy jest zintegrowany z systemami obsługi płytek, modułami inspekcyjnymi czy obrotowymi urządzeniami próżniowymi, seria LPT przyczynia się do poprawy stabilności operacyjnej i niezawodności procesów.
W miarę jak technologie półprzewodnikowe będą się rozwijać, wymagania dotyczące sprzętu będą stawać się coraz bardziej rygorystyczne. JINPAT pozostaje zaangażowany we wspieranie globalnych producentów poprzez opracowywanie wysokowydajnych rozwiązań pierścieni ślizgowych opartych na zaawansowanych materiałach, precyzyjnej inżynierii i rygorystycznych standardach kontroli zanieczyszczeń. Seria LPT reprezentuje to zaangażowanie, oferując solidny i niezawodny interfejs obrotowy zaprojektowany tak, aby sprostać zmieniającym się potrzebom przemysłu półprzewodników na całym świecie.